大族激光:接近式光刻機(jī)已投入市場,步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動用戶優(yōu)化
2023-02-06 15:20:33 | 來源:云財經(jīng) |
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大族激光(002008)2月6日在互動平臺表示,目前公司光刻機(jī)項目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域,分辨率3-5μm;其中,接近式光刻機(jī)已投入市場,步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動用戶優(yōu)化,公司將根據(jù)市場需求及業(yè)務(wù)發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計劃,并加大研發(fā)核心部件國產(chǎn)化。