2023-04-21 16:12:27 | 來源:云財經 |
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南大光電(300346)在互動平臺表示,公司正在認證的ArF光刻膠主要集中在90nm~28nm工藝節(jié)點,目前有多款產品正在下游客戶處驗證。規(guī)模量產時間需要根據(jù)客戶訂單情況確定。公司制備ArF光刻膠的核心原材料由公司自主研發(fā)生產。
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